[期刊]
  • 《电子材料快报》 2000年3期
作者 仪仡  
期刊名称 《电子材料快报》
页码/总页数 11-12 / 2
语种/中图分类号 汉语 / TN304.24  
关键词 硅基片   生长   碳化硅   外延层   生长  
机标主题词 / 分类号 外延层;碳化硅;硅衬底 / TN303;O613.71;TN304
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